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造成碳化硅板開裂的原因有哪些?

2021-07-12 09:04:00

        碳化硅板開裂的常見原因歸納如下:        

        1.碳化硅較厚時(如推板)會發生層裂,主要是壓制時的分層和燒結時的密不透風造成的。
        

        2.使用碳化硅板時,往往在最初幾次或較長時間后出現開裂。    

        3.碳化硅板剛開始使用時,碳化硅顆粒表面與外界接觸最大,碳化硅氧化最多,體積膨脹最強。此外,碳化硅板中的碳化硅是由少量粘結劑結合而成。隨著使用次數的增加,碳化硅表面的氧化膜逐漸熔化在一起,硅板的強度逐漸增強,碳化硅就不再開裂了。

        

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